压力变送器可根据不同压力敏感膜分为电容式硅、扩散硅、单晶硅和陶瓷型。本文主要讨论了电容硅和扩散硅类型。

1. 电容式压力变送器

原理：电容压力变送器具有可变电容式传感元件。传感器是完全封闭的组件。工艺压力和差压通过隔离隔膜传输到传感膜片，并加注硅油，导致位移。电子元件将传感膜片和两个电容器板之间的电容差转换为 4-20mA 的电流信号。

简而言之，压力会改变电容。

其优点是：能达到极低的压力;过载电阻;高精度。缺点是：高压测量缺乏优势;传感器包装过程要求很高。

以富布赖特巴克斯特压力变送器为例，电容型 （FB3351） 如下图所示：

2. 扩散硅压力变送器

扩散硅压力变送器的原理：测量介质的压力直接作用于传感器的扩散硅膜片，从而导致小排量与介质压力成正比。在正常情况下，隔膜的最大位移不大于 0.025mm。电子电路检测位移并将其转换为 4-20mA 信号。

简而言之，压力会导致阻力的变化。

在过压的情况下，隔膜直接连接到固体扩散硅。由于隔膜和基板之间的间隙只有 0.1mm，因此过压期间隔膜的最大位移只有 0.1mm。因此，该结构可确保隔膜不会过度变形。该传感器稳定性好，精度高。

该传感器的优点是：稳定性高，优于0.1%的FS/年;通过消除测量元件中的液体，传感器可以获得高精度。而且它很便宜。缺点是：温度低于0°C或85°C以上难以正常使用;它承受不了动态压力;隔膜容易损坏;不适合压力超过 20MPa。